NTT、ロボットと機械学習による自律成膜実験の成果を発表

自動搬送・成膜・光学評価とベイズ最適化を閉ループで接続し、物理実験の結果から次の条件を選択した。酸化ガリウム薄膜の成膜条件を自律探索した。

8月13日の論文掲載とは別に8月25日の公式成果発表を1件として記録。AI解析だけでなく条件変更が実装置へ接続。NTTの商号変更は同一法人として既存identityを維持。

自動搬送・成膜・光学評価とベイズ最適化を閉ループで接続し、物理実験の結果から次の条件を選択した。酸化ガリウム薄膜の成膜条件を自律探索した。